X射線熒光分析是一種物理分析方法， X射線熒光光譜儀分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。

　　X射線熒光光譜儀是由物質中的組成元素產生的特征輻射，通過側里和分析樣品產生的的產生與特性當用高能電子束照射樣品時，人射高能電子被樣品中的電子減速，這種帶電拉子的負的加速度會產生寬帶的連續X射線譜，簡稱為連續潛或韌致輻射。另一方面，化學元素受到高能光子或粒子的照射，如內層電子被激發，則當外層電子躍遷時，就會放射出特征X射線。

　　X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。

　　下面我們來看看X射線熒光光譜儀的性能主要可以分為以下幾個方面：

　　1、噪聲等效功率和動態范圍。當信號的值與噪聲的值相當的時候，從噪聲中分辨信號就會困難。一般用與噪聲相當的信號的值來表征能一個光譜儀所能夠測量的弱的光強。噪聲等效功率越小，光譜儀就可以測量弱的信號。

　　2、敏度與信噪比。敏度描述了X熒光光譜儀把光信號變成電子學信號的能力，高的敏度減小電路本身的噪聲對結果影響。狹縫的寬度、光柵的類型、探測器的類型以及電路的參數都會影響敏度。人為地調高前置放大電數也會提高名義上的敏度，但并不實際的測量。

　　3、波長范圍。波長范圍是X熒光光譜儀所能測量的波長區間。使用新型探測器可以使之前的范圍拓展一些距離，即覆蓋紫外、可見和近紅外波段。光柵的類型以及探測器的類型會影響波長范圍。

　　4、波長分辨率。波長分辨率描述了光譜儀能夠分辨波長的能力，波長分辨率與波長的取樣間隔是兩個不一樣的概念。高的波長分辨率意味著窄額度波長范圍。

　　以上就是對X射線熒光光譜儀的相關介紹，供大家參考！